制程化学品分析

确保半导体制程化学品纯度

半导体制造过程中需使用超纯级化学品对产品进行清洗，为防止污染，这些化学品必须不含任何痕量金属。要有效检测污染物，需使用具有出色灵敏度的分析仪器，并且这些仪器必须能够在高基质环境中有效运行。

凭借业内领先的精度和通过自动化解决方案提升的分析效率，安捷伦的 ICP-MS ORS 和 ICP-MS/MS 技术可实现制程化学品的直接测量，同时可有效降低质谱干扰。我们提供的稳定可靠方法可确保在最具挑战性的样品条件下对制程化学品进行灵敏准确的分析。