安捷伦半导体行业解决方案
自 20 世纪 80 年代末以来,安捷伦与前沿的制造商和化学品供应商紧密合作,开发针对半导体产业链的分析和监测技术,解决行业中的分析挑战,不断探索创新前沿。
在整个半导体制造过程中监测和控制有机杂质至关重要,因为即使是痕量级杂质也会降低产量。对于半导体工艺中的有机杂质分析,安捷伦为半导体行业各种样品的痕量杂质分析提供了分析仪器和工作流程解决方案,包括硅片、太阳能光伏硅片、高纯制程化学品、超纯水、有机溶剂和光阻材料。
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该方法采用紫外检测、成分的相对定量和统计学评估,用于对广泛用于液晶显示器的 E7 液晶混合物中的液晶化合物进行定量分析。使用超临界流体色谱法,该方法证明可以在几分钟内快速分离商用液晶混合物,相比传统方法,总运行时间缩短 20 倍。
检测环境空气中的有机杂质对于消除半导体制造中的污染物至关重要。阅读本篇研究,概述了使用无制冷剂热脱附结合气相色谱的方法,与单四极杆质谱仪 (GC/MSD) 联用来检测 65 种有机目标化合物。目标物鉴定性能完全符合 US EPA 方法 TO-15 中定义的环境安全标准,检测限低至 4 pptv,足以满足半导体生产需求。
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