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半导体器件制造需要严格控制污染源,因为即使是痕量级污染物也会导致产量损失或产品缺陷。监测和控制晶圆、CMP 浆料、金属互连件、稀土材料、光刻胶、制程化学品和电子气体或显示材料和前体中的痕量金属和颗粒污染至关重要。40 多年来,安捷伦一直是半导体和电子行业的合作伙伴,并且不断创新以满足该行业快速发展的各种需求。我们的高性能分析仪器、应用和工作流程、技术支持和服务可帮助您满足半导体杂质检测要求,从而提高产量。
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