Turbo-V 3K-G 펌프
Agilent Turbo-V 3K-G 고효율 터보 분자 펌프는 박막 증착 장치용 터보 펌프로 사용하기 위해 특별히 설계된 전용 진공 펌핑 시스템입니다. 펌핑 스테이지 및 전체 펌프 구조는 고온 로드 상태에서 매우 높은 유량의 아르곤과 함께 작동할 수 있도록 최적화되어 있습니다.
견고한 설계를 사용한 터보 펌프는 혹독한 제조 환경에 적합합니다. 일반적인 산업용 진공 코팅 응용 분야에는 태양광 및 평판 패널 디스플레이 제조가 포함됩니다. 펌프의 견고한 설계와 고급 전자 장치 덕분에 Turbo-V 3K-G는 진공 코팅 산업을 위한 최적의 펌핑 솔루션입니다.
견고한 설계를 사용한 터보 펌프는 혹독한 제조 환경에 적합합니다. 일반적인 산업용 진공 코팅 응용 분야에는 태양광 및 평판 패널 디스플레이 제조가 포함됩니다. 펌프의 견고한 설계와 고급 전자 장치 덕분에 Turbo-V 3K-G는 진공 코팅 산업을 위한 최적의 펌핑 솔루션입니다.
제품 정보
특징
- 박막 증착을 위해 설계된 응용 분야별 펌핑 솔루션
- 매우 높은 아르곤 흐름에서 작동하도록 최적화됨
- 펌프와 컨트롤러가 통합되어 있어 설치 공간을 줄이고 간단히 작동할 수 있도록 어떠한 위치에도 설치할 수 있습니다.
- 높은 가스 흐름을 관리할 수 있어 DN 250을 사용하여 고처리량 응용 분야에서 작동 가능
- 지속적인 작동을 위한 견고한 디자인과 고효율 냉각 시스템
- 펌프 가스 퍼지는 펌프 베어링을 보호하고 시스템 오염 물질 및 미립자로 원활한 작동을 허용합니다.
- 시스템에 영향을 주지 않는 낮은 소음 레벨
- 베어링 유지보수가 필요없어 운영 비용 제로(0)
- 이동 중 및 Profibus 사용 시 펌프 작동을 위해 Vacuum Link 앱을 통해 무선으로 제어 가능
- 아날로그 I/O 신호 및 A-Plus 소프트웨어를 통한 원격 제어를 위한 RS232/RS485 등의 다목적 전자 인터페이스
