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터보 분자 진공 펌프 작동의 기초 학습에 관심이 있거나 기술적인 세부 정보에 대해 알고 싶으십니까? 터보 펌프의 특수 기능을 통해 터보 펌프를 최대한 활용할 수 있는 유용한 팁이 필요하십니까? 애질런트 터보 펌프에 대한 지원이 필요하시면 아래와 같은 자주 묻는 질문을 확인하세요.
애질런트의 터보 펌프는 터보 펌프의 선택, 구성 및 작동, 펌프 작동 환경, 최선의 실행 방법 및 올바른 액세서리에 대해 알아보도록 도와드립니다. 본 FAQ는 또한 진공 시스템 구성과 최신 터보 펌프로 업그레이드하기 위한 가이드라인을 제공합니다.
드라이 윤활 베어링이란 오일이 필요 없어 제품의 사용 주기 동안 유지관리 절차 없이도 윤활이 가능하다는 뜻이며, 작동 방향에도 제한이 없습니다. 윤활유는 매우 낮은 증기압을 가지고 있으며, 탄화수소가 없는 환경에서 높은 호환성을 나타냅니다.
드라이 윤활 베어링은 고형 오염물질에 더 민감하기 때문에, 애질런트 터보 분자 펌프는 동역학적 보호 기능을 갖추었습니다.
가스 처리 시 직접 노출되는 부위에 사용된 모든 재료 목록:
AISI 303, Anticorodal 100, AISI 304, Anticorodal 6063, Buna, 알루미늄 합금 6082-T6, 실리콘 고무, 알루미늄 합금 2014-T6.
가스 처리 시 직접 노출되지 않는 부위에 사용된 재료 목록:
NBR 니트릴 고무, 구리, 스테인리스 스틸, 실리콘, PTFE, 폴리머 화합물.
LOW SPEED는 극한의 진공이 필요하지 않은 경우 진공을 유지하는 데 사용할 수 있는 애질런트 터보 펌프 컨트롤러 대기 기능입니다. 밤새 시스템을 꺼두는 것보다 LOW SPEED를 지정하는 것이 좋은데, 다음날 아침에 전체 시스템을 다시 시작할 필요가 없기 때문입니다.
TwisTorr 74 FS: LOW SPEED 사용 불가 - HIGH SPEED 1167Hz
TwisTorr 84 FS: LOW SPEED 1100Hz - HIGH SPEED 1350Hz
TwisTorr 305 FS, 305-IC: LOW SPEED 700Hz - HIGH SPEED 1010Hz
TwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS: LOW SPEED 680Hz - HIGH SPEED 680Hz~825Hz에서 자동 설정
Turbo-V 1001: LOW SPEED 440Hz - HIGH SPEED 650Hz
Turbo-V 1K-G: LOW SPEED 500Hz - HIGH SPEED 761Hz
Turbo-V 2K-G: LOW SPEED 475 Hz - HIGH SPEED 555 Hz
Turbo-V 3K-G: LOW SPEED 510 Hz - HIGH SPEED 530 Hz
Turbo-V 2300: LOW SPEED 510 Hz - HIGH SPEED 555 Hz
터보 펌프의 핵심 온도는 베어링 온도입니다. 펌프의 특성(움직임)으로 인해 온도를 측정하기가 쉽지 않으므로 온도 센서는 펌프 본체에 배치됩니다.
본체와 베어링 위치 사이에 밀접한 온도 상관관계를 가지고 있어 본체 온도를 기준으로 사용할 수 있습니다.
컨트롤러에 표시되고 시리얼 포트를 통해 보고되는 온도는 펌프 본체 온도입니다.
펌프가 700Hz 미만의 속도로 회전할 수 있는 가동 시간의 최대 시간 설정입니다. 가동 시간 값은 0~30분 사이에서 선택할 수 있으며 기본값은 15분입니다.
485A와 485P 모델 사이에는 하드웨어 상의 차이가 없습니다. 485A 및 485P는 서로 다른 두 가지 시리얼 통신 프로토콜을 나타냅니다.
소프트 스타트의 일반적인 지속 시간은 15분입니다. 그러나 펌프가 15분 내에 최고 속도에 도달할 수 없으면 총 45분 동안 최고 속도에 도달하려고 시도합니다.
이 시간 동안 최고 속도에 도달하지 못하면 오류 코드가 나타납니다.
터보 펌프는 주로 터보와 드래그 두 섹션으로 구성됩니다. 터보 섹션은 회전 디스크와 각진 블레이드가 포함된 고정 디스크가 번갈아 가며 만들어집니다. 이를 각각 로터 및 스테이터라고 합니다. 가스 분자가 터보 펌프의 입구로 들어가 회전하는 로터 블레이드와 충돌하면, 블레이드가 전달하는 운동량이 가스 분자를 펌프 안으로 더 멀리 이동시킵니다. 그런 다음 가스는 가스를 압축하여 펌프의 배기구(포어라인)로 이동시키는 좁은 채널로 구성된 드래그 단계로 전달되며, 별도의 backing 펌프는 가스를 대기로 배출합니다.
전자 현미경 및 특정 분석 기기와 같은 매우 민감한 장비에는 매우 낮은 진동 진폭이 필요합니다. 진동 댐퍼는 시스템으로 전달되는 터보 펌프 진동 진폭을 주전원 주파수에서 최소 10배 이상 감소시킵니다.
최대 200mm(ISO 200 또는 CFF 10” 외경) 크기까지 사용할 수 있습니다. 펌프에서 장비를 효과적으로 분리하려면 연결 플랜지 사이에 진동 댐퍼를 수직으로 설치해야 합니다.
라비린스는 먼지와 이물질이 베어링과 접촉하는 것을 최소화하기 위해 특별히 설계된 터보 펌프 내부의 영역입니다.
라비린스는 입자가 통과하여 베어링에 도달하는 것을 극도로 어렵게 만드는 구불구불한 경로로 만들어졌습니다.
먼지와 입자로부터 펌프를 보호하는 방법에 대한 구체적인 지침은 애질런트로 문의해주세요.
가스의 분자량은 열전도율에 영향을 미칩니다. 열전도율이 높은 가벼운 가스(예: 수소, 헬륨 또는 질소)는 로터에서 열을 매우 효율적으로 제거합니다(열을 펌프 외피로 전달). 무거운 불활성 가스(크세논, 크립톤 또는 이들과 아르곤의 혼합 가스)는 모두 열전도율이 낮기 때문에 로터에서 제거할 수 있는 열의 양이 제한됩니다. 따라서 가벼운 가스보다 무거운 가스를 펌핑할 때 펌프가 임계 상한 온도 한계에 도달하기가 더 쉽습니다.
가스 유형에 따라 컨트롤러에서 설정이 다릅니다. 펌핑된 가스의 열전도율이 0.016 W/(m · K) 미만인 경우 펌프가 처리할 수 있는 최대 아르곤 유량의 1/10을 초과하지 않도록 권장합니다(자세한 내용은 사용 설명서 참조). 또한 애질런트는 가스 유형 아르곤에 대해 컨트롤러를 설정할 것을 권장합니다.
자세한 내용은 애질런트 고객 지원팀으로 문의해주세요.
애질런트 터보 분자 펌프는 어떤 방향으로도 설치가 가능하며, 수직이든 수평이든 거꾸로 뒤집힌 상태에서든 적합한 견고성 테스트를 수행합니다. 진공 시스템 연결에 관한 자세한 정보는 펌프 설명 안내서에 서술되어 있습니다. 터보 펌프와 진공 시스템 사이에 진동 방지 장치를 연결하면 설치 방향을 제한할 수 있습니다.
주입구 스크린을 반드시 사용해야 하는 것은 아닙니다. 그러나 진공 시스템에서 생성되는 잔해로 인한 터보 펌프 날의 손상을 방지하기 위해 주입구 스크린의 사용을 권장합니다.
터보 펌프를 사용할 때 사용되는 가스 종류에 따라 주입구 스크린이 펌핑 속도를 감소시키는 가변성 요인이 될 수 있다는 점을 감안해야 합니다. 관련된 구체적인 정보는 펌프 설명 안내서를 참조하세요. 애질런트 주입구 스크린의 전체 범위를 확인하세요.
벤트 밸브의 사용은 선택 사항입니다. 애질런트 터보 분자 펌프를 사용할 때 표준 수동 벤트 나사를 사용해 펌프를 배기할 수 있습니다. 또한 벤트 밸브를 이용한 벤트 절차를 적용해, 모든 펌프의 운용 단계(예: 최적화된 감속 시간, 유입 방지, 포어라인 펌프 영역에서 역류하는 가스로부터의 보호)를 자동화 처리할 수도 있습니다. 애질런트 벤트 밸브를 참조하세요.
애질런트 터보 분자 펌프는 터보 펌프와 포어라인 펌프 사이에 분리 밸브를 설치하든 설치하지 않든, 두 경우에 모두 사용할 수 있습니다. 애질런트는 혹시 발생할 지도 모를 전원 차단 상황에서 역류로 인한 사고를 방지하기 위해 포어라인 펌프의 내부 또는 외부에 보호 밸브를 설치할 것을 강력히 권장합니다.
대부분의 애질런트 Primary 펌프에는 분리 밸브가 기본적으로 설치되어 있음을 유념하세요.
터보 분자 펌프는 가스를 압축할 때 열을 방출하므로 냉각이 필요합니다. 펌프 요건(가스 흐름, 가스 종류, 최대 요구 전력, 주변 온도 등)에 따라 자연순환 장치, 에어 냉각 장치, 수냉식 냉각장치와 같은 적절한 냉각 시스템을 사용해야 합니다. 보다 자세한 내용은 펌프 설명 안내서를 참조해 주세요. 애질런트 터보 펌프용 완벽한 공냉 또는 수냉 키트를 찾아보세요.
만약 분석에 펌프 손상 또는 잠재적 부식이 우려되는 가스를 사용하거나 알갱이/분진 등이 유입되는 경우에, 애질런트는 터보 분자 펌프에 베어링 퍼지 시스템을 장착할 것을 권장합니다. 베어링 퍼지를 통해 터보 분자 펌프 베어링을 소량의 비활성 가스 흐름(10 또는 20sccm)에 노출시킴으로써 베어링에 입자가 유입되는 것을 차단하며, 부식성이 있는 가스가 베어링 윤활제를 분해하는 것을 방지합니다. 터보 펌프 베어링을 보호하려면 다양한 애질런트 퍼지 밸브를 참조하세요.
애질런트 액세서리 “I/O 어댑터 p/n SR03746930”을 주문할 수 있습니다.
액티브 게이지(AG)를 읽을 수 있는 터보 펌프 컨트롤러는 다음과 같습니다:
아니요. 이는 터보 분자 펌프의 고장을 일으킬 수 있으므로 권장하지 않습니다.
네, 하지만 베어링 온도 제어에 제한이 있어 최대 가스 처리량이 제한됩니다.
호환되지 않습니다.
펌프와 플랜지의 조합 수가 많기 때문에 각 플랜지 유형 및 크기에는 구체적인 장착 요구사항이 있습니다. 시스템에 펌프를 설치하는 방법에 대한 자세한 지침은 터보 펌프 사용자 설명서를 참조하세요.
이 "모범 사례” 설치 문서 또한 참조할 수 있습니다.
공기 냉각 키트는 대부분의 범용 용도로 선택할 수 있습니다. 가스 유량이 많은 경우에는 수냉식 냉각을 권장합니다.
펌프가 높은 외부 온도에서 작동되는 경우 수냉식 냉각을 권장합니다. 자세한 내용은 사용자 설명서를 참조하세요.
먼저 고려해야 할 파라미터는 장착에 사용할 수 있는 진공 플랜지의 크기입니다. 이는 시스템의 전도도가 제한되기 때문입니다. 펌프의 플랜지를 사용 가능한 시스템 플랜지와 일치시키는 것이 가장 좋습니다.
고려해야 할 두 번째 파라미터는 가스 유량의 양입니다. 가스 부하가 높은 경우 높은 처리량의 터보 펌프를 선택해야 합니다.
터보 포어라인 압력을 최대 허용 한도 이하로 유지하기 위해 터보 펌프와 올바른 백업 펌프를 연결하는 것 또한 중요합니다.
추가 지원이 필요한 경우, 애질런트는 시스템에서 다양한 크기의 펌프를 모델링하도록 도와드릴 수 있습니다.
적합한 냉각 방법의 선택은 펌프 크기, 가스 부하 및 환경 조건 등 다양한 요인에 따라 달라집니다. 다음은 적합한 냉각 옵션을 선택하는 데 사용할 수 있는 몇 가지 지침입니다.
높은 가스 유량(최대 가스 유량의 70% 이상), 높은 실온(>27°C 또는>80°F), 빈번한 펌프 사이클(시간당 여러 번의 ON/OFF 사이클) 중 하나 이상의 조건이 존재할 경우 수냉식 냉각을 권장합니다.
자세한 내용은 사용자 설명서를 참조하거나 애질런트로 문의해주세요.
시스템으로 전달되는 진동을 제한하기 위해
구연산 또는 아세트산을 사용하여 수냉 채널(일직선 구멍, 끝부분은 나사식으로 구성됨)에서 석회석을 제거할 것을 권장합니다. 터보 펌프의 알루미늄 냉각 채널에서 물의 전기화학적 작용(특히 전기 전도성이 너무 높은 물인 “경수” 사용 시)은 매우 일반적입니다. 이 때는 글리콜을 추가하여 물의 화학적 조성을 조정하는 것이 좋습니다(물 열 용량에 너무 많은 영향을 미치지 않도록 최대 50%). 글리콜의 물 전도율이 500µS/cm 미만인지 확인하세요.
특정 진공 시스템은 본질적으로 진동에 매우 민감합니다. 이러한 시스템에서 터보 펌프 주입구 포트와 시스템 챔버 사이에 설치된 진동 댐퍼는 예를 들면 스캐닝 전자 현미경(SEM)을 사용하는 응용 분야에서 펌프가 시스템으로 전달할 수 있는 진동을 제한합니다.
애질런트 터보 컨트롤러 인터페이스는 다음을 특징으로 합니다:
– RS232 및 RS485 프로토콜을 기반으로 하는 직렬 포트. 자체 소프트웨어 또는 A-PLUS 소프트웨어에서 액세스
– A-PLUS 소프트웨어는 Windows PC에 설치할 수 있는 사용자 친화적인 그래픽 소프트웨어로, 터보 펌프를 완벽하게 제어할 수 있음
– 일반적으로 펌프가 기기의 일부이며, 다른 구성 요소와 인터페이스를 구성해야 하는 경우 필요한 아날로그 I/O
– 전면 패널은 원격(랙) 컨트롤러에서만 사용할 수 있으며 전면 패널의 버튼을 눌러 컨트롤러와 직접 상호 작용할 수 있음
- 블루투스 동글을 컨트롤러 직렬 포트에 연결하여 사용하는 Vacuum Link app으로 Apple 또는 Android 스마트폰에서 펌프를 제어할 수 있음
- TwisTorr 305-IC 모델에서는 NFC 인터페이스를 사용하여 사용자가 펌프의 파라미터를 읽을 수 있음
자세한 내용은 컨트롤러 사용 설명서를 참조하세요.
일반적으로 0.5mm 오리피스와 함께 제공되는 터보 분자 펌프의 자동 벤트 밸브는 모든 응용 분야의 소형 펌프(TwisTorr 74 FS/84 FS/304 FS/305 FS 터보 펌프), 또는 주입구를 막아놓은 경우 중간 크기 펌프(TwisTorr 404 FS/704 FS/804 FS 터보 펌프)에 적합합니다.
중대형 펌프(TwisTorr 404 FS 터보 펌프 이상)에는 오리피스가 1.2mm인 벤트 밸브가 권장됩니다.
자세한 내용은 애질런트 터보 펌프용 벤트 밸브를 선택하는 방법 기술 개요를 참조하거나 애질런트 고객 지원팀으로 문의해주세요.
485 직렬 주소를 수정하려면 A-PLUS 소프트웨어를 사용하여 WIN 503이라는 컨트롤러 요소(WIN)에 액세스하고 수정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자가 주소(0 ~ 31, 기본값 0)를 입력할 수 있습니다. 자세한 내용은 컨트롤러 사용 설명서를 참조하세요.
자기장은 터보 분자 펌프 회전자 내에 펌프 회전 방향과 반대되는 와전류를 형성합니다. 결과적으로 모터에서 전력 소모가 증가되며, 전력의 대부분이 회전자 내에서 열로 방출됩니다. 이 효과는 자기장의 강도, 시간 함수, 배열(방향)에 따라 크게 달라집니다. 어떤 경우에는 펌프 주변에 자기장 보호막이 필요할 수도 있습니다. 애질런트의 테스트에 따르면, 터보 분자 펌프가 견딜 수 있는 최대 자기장 값은 다음과 같습니다.
만약 윤활유로 처리된 베어링을 갖춘 터보 분자 펌프가 1~12개월의 장기간 동안 사용되지 않은 상태라면, 베어링의 윤활유가 베어링 레이스에 올바르게 분포되어 있지 않을 가능성이 있습니다. 펌프를 처음 가동시키거나 몇 개월간 사용을 중단한 펌프를 재가동시킬 때에는 애질런트 터보 분자 펌프만의 독보적 기능인 'Soft-Start'를 사용해야 합니다. 12개월 이상 사용되지 않은 펌프는 미개봉 상태일 지라도 리채널링을 위해 공장으로 돌려보내야 합니다.
권장되는 최선의 방법은 펌프를 중단한 후, 가속 시와 비슷한 감속 시간 내에 속도를 0Hz까지 완전히 줄이는 것입니다(더 자세한 내용은 설명 안내서 참조). 알맞은 배기 속도는 터보 분자 펌프 크기와 배기되는 시스템 부피에 따라 달라집니다. 배기-솔레노이드는 임계값에 가까운 베어링 진동수의 상태에서 최소한의 시간만 소요되도록 펌프를 의도적으로 늦추는 경우에 가장 일반적으로 사용됩니다. 또는 대부분의 애질런트 컨트롤러에 "자동브레이크" 기능이 내장되어 있습니다. 시스템이 정기적으로 대기 환경에 노출되는 경우 해당 시스템 대해 언제나 올바른 펌프 종료 절차를 적용할 것을 권장합니다.
절대 포어라인 연결부를 여는 방식으로 터보 펌프를 멈추지 마세요. 보다 자세한 내용은 펌프 설명 안내서를 참조해 주세요.
애질런트는 정지 상태의 터보 분자 펌프를 통해 진공 챔버를 러핑하는 것을 권장하지 않습니다. 동역학적 보호(베어링 보호 라비린스)는 회전자가 돌고 있을 때만 활성화되기 때문입니다(오염 가능성이 있는 응용에서 매우 중요). 분진이 존재하거나 화학적 반응이 일어나는 분석에서는 언제나 퍼지(증착 시스템)를 사용하세요.
5°C 미만의 온도에서는 베어링 윤활제의 점성이 높아져 윤활 효과는 떨어집니다. 이로 인해 온도가 급격하게 상승할 수 있습니다. 따라서 펌프가 정상적으로 가동되는 것처럼 보일지라도 베어링에 미세한 손상이 발생하며, 장기적으로는 펌프의 신뢰성에 문제가 생깁니다.
“AUTOTUNING” 메시지는 펌프에 높은 부하가 걸렸음을 의미하므로 컨트롤러가 전력 소비를 최적화하기 위해 회전 주파수를 줄입니다.
가능한 이유는 다음과 같습니다.
1. 진공 챔버의 가스 유량이 높음
2. 시스템에 누출이 있음
3. 펌프 포어라인의 진공 상태가 불량함
4. 벤트 밸브 누출 또는 벤트/퍼지 장치가 제대로 설치되지 않음(O-링 확인)
“AUTOTUNING”은 오류가 아니지만 펌프가 제한된 시간 동안만 Autotuning 상태에서 작동할 수 있습니다. 작동 조건을 확인한 후에도 “AUTOTUNING” 메시지가 계속 나타나면 애질런트에 추가 지원을 요청하세요.
AG 컨트롤러(랙/원격 및 온보드)에서 지원하는 애질런트 액티브 게이지는 다음과 같습니다:
애질런트 터보 분자 펌프 컨트롤러는 펌프의 전기, 열 및 기계적 파라미터를 실시간으로 모니터링하여 오류 상태가 발생할 경우 펌프를 중지합니다. 오류에 대한 설명은 A-Plus 소프트웨어를 사용하는 직렬 통신으로도 읽을 수 있습니다.
A-Plus에서는 Google Chrome, Microsoft Edge, Mozilla Firefox, Microsoft Explorer를 지원합니다.
애질런트 터보 펌프는 다음과 같은 경우 시동을 성공적으로 완료하고 정상적으로 작동한 것입니다.
- 원격 컨트롤러로 작동시 NORMAL OPERATION이 표시됨
- 온보드 또는 통합 컨트롤러에 장착시 상태 LED가 녹색
상태는 A-PLUS 소프트웨어 및 Vacuum Link app에서 RS232/RS485 직렬 포트(창 205)를 통해 모니터링할 수도 있습니다.
통합 컨트롤러로 Vacuum Link app을 작동하면(Agilent TwisTorr 305-IC 터보 펌프의 경우와 같이) 펌프의 상태에 대한 완전한 정적 스냅샷을 얻을 수 있으며 랙/원격 및 온보드 컨트롤러를 사용하는 경우에는 펌프를 완벽하게 제어할 수 있습니다.
랙/원격 컨트롤러에는 디스플레이가 있으며 직렬 포트, 앱을 통해 또는 전면 패널의 버튼을 누르고 메뉴를 탐색하여 작동할 수 있습니다.
온보드 컨트롤러(디스플레이가 없음)로 작업할 때는 직렬 포트 또는 앱을 통해 명령을 보낼 수 있습니다.
터보 펌프가 중지 모드에 있을 때 정지 속도 판독 기능을 사용할 수 있습니다. 제어 장치(원격 제어 장치)의 전면 패널에서 조작하거나 A-PLUS 소프트웨어(온보드, 원격, PCB, 통합 제어 장치)를 사용하여 펌프를 중지한 다음 정지 속도 판독 기능을 활성화합니다. 그런 다음 펌프를 다시 시작하세요. 다음 중지 명령에서 펌프 다운 중 속도 값이 A-PLUS 소프트웨어 또는 컨트롤러 전면 패널에 표시됩니다.
자세한 내용은 컨트롤러 사용 설명서를 참조하세요.
1개월 이상 사용하지 않은 경우, 볼 베어링 주변에 분포된 필름 윤활유가 채널의 바닥 쪽에 축적되기 시작합니다. 애질런트는 펌프를 본격적으로 가동시키기 전에, 윤활유 필름이 다시 생성될 수 있도록 “soft start”로 펌프를 시작할 것을 권장합니다.
펌프가 오랜 기간 동안 비가동 상태였다면, 공장에서 추가 작업이 필요할 수도 있으니 해당 펌프를 공장으로 보내주실 것을 권장합니다.
애질런트 터보 펌프가 견딜 수 있는 최대 자기장은 다음과 같습니다:
자기장이 존재하는 상태에서 작동하면 터보 분자 펌프 로터에 와류 전류가 유도되어 회전과 반대되는 경향을 보입니다. 결과적으로 전기 모터로 전달되는 전력이 증가하고 로터가 과열될 수 있습니다.
준수해야 할 한계는 다음과 같습니다:
횡단 방향에서 -50가우스(5mT)
종단 방향에서 -100가우스(10mT)
자기장이 허용 값보다 크면 차폐를 사용해야 합니다.
주어진 작동 조건에서 기본 펌프가 터보 펌프에 비해 너무 작으면 시스템 펌프의 다운 시간이 예상보다 길어집니다. 또한 기본 펌프가 포어 라인에서 펌핑해야 하는 가스의 양을 처리하지 못할 수도 있습니다. 이로 인해 가스 부하 관리가 불량해지고 포어 라인 압력이 높아지면서 터보 펌프에 과부하가 발생할 수 있습니다.
정전이 발생하면 포어 라인에서 공기나 기타 불순물이 기본 펌프에서 터보 펌프를 통해 고진공 챔버로 역류할 수 있습니다. 분리 밸브가 내장된 기본 펌프를 사용하거나 포어 라인에 같은 밸브를 추가하면 공기 유입을 방지할 수 있습니다. 또한 자동 벤트 밸브가 터보 분자 펌프를 벤트하여 적절한 방식으로 정지시킵니다.
각 컨트롤러는 특정 펌프용으로 설계되었습니다. Turbo-V 551 및 Turbo-V 701 컨트롤러는 TwisTorr 404 FS/704 FS/804 FS 터보 펌프와 호환되지 않습니다.
애질런트가 제공하는 업그레이드 기회에 대해 자세히 알아보려면 기술 쇄신 및 업그레이드 페이지를 방문하세요.
각 터보 분자 펌프 컨트롤러는 특정 펌프용으로 설계되었습니다. TwisTorr Medium-TMP 랙 및 온보드 컨트롤러는 Turbo-V 551/701 펌프와 호환되지 않습니다.
애질런트가 제공하는 업그레이드 기회에 대해 자세히 알아보려면 기술 쇄신 및 업그레이드 페이지를 방문하세요.
Agilent Turbo-V 70 펌프는 Turbo-V 70 컨트롤러와 호환됩니다.
Agilent TwisTorr 74 FS 터보 펌프는 TwisTorr 74 FS 및 84 FS 컨트롤러(제한 있음)와 호환됩니다.
Agilent Turbo-V 81 펌프는 Turbo-V 81 컨트롤러 및 TwisTorr 84 FS 컨트롤러(제한 있음)와 호환됩니다.
Agilent TwisTorr 84 FS 터보 펌프는 84 FS 컨트롤러와 호환됩니다.
다른 컨트롤러로 펌프를 작동하는 방법에 대한 자세한 지침은 애질런트로 문의해주세요.
애질런트가 제공하는 업그레이드 기회에 대해 자세히 알아보려면 기술 쇄신 및 업그레이드 페이지를 방문하세요.
우수 실험실 가이드를 따르면 펌핑되는 먼지의 양을 줄일 수 있습니다.
– 펌프의 주입구 플랜지 앞에 배플 설치
– TMP를 거꾸로 설치하면 중력으로 인해 펌프에서 먼지가 멀어짐
– 펌프 퍼지 밸브를 사용하면 베어링 영역에서 먼지 유입을 막는 데 효과적임
– 고정식 터보 펌프를 통해 진공 챔버를 러핑하지 말것
- 작동 중인 펌프에는 동적 베어링 보호의 추가적 이점이 있음
진공 시스템에서 직접 사용할 수 있는 24VDC(있는 경우)를 사용하거나 애질런트에서 권장하는 두 개의 외부 전원 공급 장치 제품 번호 X3514-81005(전원 공급 장치) 또는 제품 번호 X3514-81003(케이블) 중 하나를 사용하여 TwisTorr 305-IC에 24VDC를 공급할 수 있습니다. 또는 시장에서 구입할 수 있는 Mean Well NDR-240-24를 사용할 수 있습니다.
온도는 펌프 주입구 플랜지에서 측정해야 합니다. 펌프 사용 설명서에 명시된 값을 절대 초과해서는 안 됩니다.
부식성 가스(예: 암모니아, 산소 등)는 볼 베어링의 윤활 필름을 부식 및 열화시킬 수 있습니다. 그리스의 분자 사슬이 끊어지면 윤활 기능이 손상됩니다. 볼과 베어링의 내부 표면(내륜 및 외륜) 사이의 마찰이 증가하여 열과 표면 마모가 발생합니다.
미량의 부식성 가스가 터보 분자 펌프에 의해 펌핑될 때는 항상 가스 퍼지를 사용해야 합니다(펌프 크기에 따라 질소, 10 또는 20sccm). 펌프 퍼지 밸브를 사용하는 것이 효과적입니다. 퍼지 흐름이 베어링 영역에 장벽을 만들어 공정 가스로부터 베어링을 보호하는 데 도움이 되기 때문입니다.
복사 에너지로 인한 로터 과열을 방지하려면 복사원과 터보 펌프 흡입구 사이의 가시선을 차단해야 합니다. 90° 엘보우(“가시선” 열 경로 제거)에 펌프를 설치하면 가열 효과를 제거할 수 있습니다.
펌프 흡입구 앞에 설치된 배플은 열 복사가 터보 펌프 로터에 도달하는 것을 방지하는 또 다른 효과적인 방법입니다.
이물질이 펌프에 들어가는 것을 최소화하기 위해 다음을 수행할 수 있습니다:
– 적절한 애질런트 주입구 스크린 설치
– 펌프의 주입구 플랜지 앞에 배플을 설치
– 터보 분자 펌프를 거꾸로 설치하여 중력으로 펌프에 먼지가 떨어지는 것을 방지
– 베어링 영역에 먼지 유입을 방지하는 데 도움이 되는 펌프 퍼지 밸브를 사용
– 진공 챔버를 러핑할 때는 항상 터보 펌프를 켜두세요. 이것이 불가능할 경우 정지된 터보 펌프를 통해 가스가 흐르지 않도록 챔버와 기본 펌프 사이에 바이패스를 만드세요. 회전 펌프는 베어링을 동적으로 보호하는 이점이 있습니다. 펌프가 중단되면 이 이점이 사라집니다.
참고: 터보 펌프 퍼지에 대한 자세한 내용은 다음 가스 퍼지 밸브 기술 개요를 참조하세요.
TwisTorr 305 FS 및 305-IC 터보 펌프의 주입구 플랜지(CF) 최대 온도는 100°C입니다.
다른 모든 펌프의 주입구 플랜지(CF) 최대 온도 120°C입니다.
시스템 베이크 아웃에 대한 자세한 지침은 애질런트로 문의해주세요.