3000 L/s DN 250 高流量 Turbo-V 3K-G 泵

特性

专为薄膜沉积应用而设计的分子泵解决方案
经优化适用于极高的氩气流量
集成式泵和控制器可安装在任何位置，操作简单，占地面积小
支持高气体流速，能够使用 DN 250 实现高通量应用
耐用设计、高效运行的冷却系统可实现连续运行
气体吹扫可保护泵轴承，在存在系统污染物和微粒的情况下可实现无缝运行
低噪音，不会对系统产生任何影响
免维护轴承，零运行成本
通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵操作并可选配 Profibus
通用电子接口，包括模拟 I/O 信号和 RS232/RS485，用于通过 A-Plus 软件实现远程控制

性能指标


He 压缩比	6 x 10³
N2 压缩比	>1 x 10⁷
前级管道法兰尺寸	KF 40 NW
前级耐压 — N2	0.5 mbar
启动时间	< 6 min
工作位置	任意
建议采用的前级泵容量	60 m³/h
抽速 — Ar	2050 L/s
抽速 — He	1900 L/s
抽速 — N2	2200 L/s
操作环境温度	+5 to +35 °C
极限真空	<1 x 10^–8 mbar
标准和认证	EN 55011（无线电干扰特性） EN 61000-3-2（谐波电流发射限值） EN 61000-3-3（电压变化、电压波动和闪烁的限制） EN 61000-6-2 和 EN 61326（工业环境的抗扰度）检查： EN 61000-4-2（静电放电现象） EN 61000-4-3（高频辐射现象） EN 61000-4-4、EN 61000-4-5 和 EN61000-4-6（高频导电现象） EN 61000-4-11（电压波动、电压暂降和短时中断）
法兰类型	DN 250 ISO-F
贮存环境温度	-20 至 +70 °C
重量	52 kg
额定转速	31800 rpm（驱动频率 530 Hz）

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资料库

应用简报

Vacuum Tools for Coating System Productivity

Detailing how Agilent's vacuum products, systems and services can enhance large area vacuum coating system performance and uptime.

应用简报
English
2012 年 9 月 26 日
628.20 KB
PDF

产品样本

目录

数据表

软件

技术概述

技术支持

合格证

Agilent Vacuum Product Declarations of Conformity Reference List

Contains a reference list of Vacuum Products Declarations of Conformity. Each vacuum product is shipped with the specific Declaration of Conformity.

合格证
English
2024 年 10 月 9 日
153.25 KB
PDF

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2023 年 12 月 19 日

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