VacIon Plus 200 离子泵

VacIon Plus 200 L/s 离子泵已经过磁场优化，优化的磁场可更快抽真空（抽速峰值：10^–8 mbar），是需要达到 UHV 和 XHV 条件理想选择。该泵经过真空烧制过程，可最大程度减少氢气逸出。

该离子泵具有三种元件类型。二极离子泵元件适用于通用的 UHV 和 XHV 应用，在此应用中氢气抽速至关重要，系统很少排气或发生泄漏。三极离子泵元件可处理的惰性气体比改进型二极离子泵多，可处理的氢气比二极离子泵多，对甲烷、氩气和氦气具有最高的抽速和容量。改进型二极离子泵元件适用于需要抽除残留氩气和其他惰性气体的通用 UHV 和 XHV 应用。