오염물질 제어

우수한 감도 및 극미량 불순물에 대한 오염물질 제어

통합형 회로 내 반도체의 크기가 점점 작아지면서, 극미량 오염물, 특히 금속 오염물이 생산율에 미치는 영향이 커지고 있습니다. 애질런트의 8900 Triple Quadrupole ICP-MS 및 7900 ICP-MS와 같은 기기만이 반도체의 순도, 침전불순물, 패키징 등을 효과적으로 점검하는 데 필요한 높은 감도를 제공할 수 있습니다.

애질런트의 차세대 Ultimate Sensitivity 기술은 오염물질 제어 기술의 선두에서 박차를 가하고 있으며, Cary 600 시리즈 FTIR 및 4300 Handheld FTIR는 표면 및 얕은 불순도 검출을 가능케 합니다.
애질런트의 솔루션을 이용하면 화학물질을 직접 분석을 할 수 있으며, 희석 및 시료 오염 문제를 제거할 수 있습니다. 애질런트의 솔루션은 반도체 사용자에게 종합적인 시료 처리, 자동화 도구, 탁월한
구조 지원을 제공합니다.