애질런트 반도체 산업 솔루션
애질런트는 1980년대 후반부터 선도적인 제조업체 및 화학 공급업체와 긴밀히 협력하여 반도체 산업 체인을 위해 분석 및 모니터링 기술을 개발하고, 업계에서 겪는 분석 과제를 해결하며 끊임없이 혁신에 앞장서 왔습니다.
극미량 수준의 불순물이라도 수율을 낮출 수 있기 때문에 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 유기 불순물을 모니터링하고 제어하는 것은 매우 중요합니다. 반도체 공정의 유기 불순물 분석을 위해 애질런트는 실리콘 웨이퍼, 태양광 PV 실리콘, 고순도 공정 화학물질, 초순수, 유기 용매 및 포토레지스트를 포함하는 반도체 산업 시료 범위에 걸쳐 극미량 불순물 분석을 위한 분석 기기 및 워크플로 솔루션을 제공합니다.
반도체에 함유된 유기 불순물 분석에 대한 질문이 있거나 애질런트 담당자의 연락을 원할 경우 아래에 알려주세요.
애질런트는 1980년대 후반부터 선도적인 제조업체 및 화학 공급업체와 긴밀히 협력하여 반도체 산업 체인을 위해 분석 및 모니터링 기술을 개발하고, 업계에서 겪는 분석 과제를 해결하며 끊임없이 혁신에 앞장서 왔습니다.
이 분석법은 액정 디스플레이에 널리 사용되는 E7 액정 혼합물 내 액정 화합물을 자외선 검출, 조성의 상대 정량, 통계적 평가를 통해 정량 분석하기 위한 것입니다. 이 분석법은 초임계 유체 크로마토그래피(SFC)를 통해 상용 액정 혼합물의 빠른 분리가 수 분 내에 가능하여 총 분석 시간을 기존 분석법 대비 20배 더 빠르게 단축할 수 있음을 입증합니다.
대기중 유기 불순물을 검출하는 것은 반도체 제조 시 오염물질 제거에 매우 중요합니다. 극저온 유체를 사용하지 않는 열탈착과 결합한 가스크로마토그래피/SQ 질량 분석기(GC/MSD)를 사용하여, 65종의 표적 유기 화합물 검출을 간략히 설명한 이 연구자료를 읽어보세요. 표적 식별의 성능은 미국 EPA 분석법 TO-15에 정의된 환경 안전 기준에 잘 부합하며, 검출 한계는 4pptv로 반도체 생산에 충분한 값입니다.
애질런트 연락처 페이지를 방문해 애질런트 담당자와 상담해 보세요. 또한 애질런트에 가입하시면 교육 행사, 웨비나, 제품 등을 포함한 애질런트 재료 테스트 및 연구 응용 관련 최신 정보를 받아보실 수 있습니다.
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