![TSP 차단 실드 및 극저온패널 TSP 차단 실드 및 극저온패널](/cs/publishingimages/tsp-cryopanel-and-ambient-shield-collage-zoomtb.jpg)
TSP 차단 실드 및 극저온패널
차단 실드 또는 극저온패널을 TSP 카트리지와 함께 사용하여 활성 가스에 대한 펌핑 속도를 높이고 UHV/XHV에 더 빠르게 도달합니다. 차단 실드는 반응성 가스에 대해 높은 펌핑 속도를 제공합니다. 매우 낮은 압력에서 부하가 가장 큰 잔존 기체가 수소입니다. Cryoshroud를 사용해 승화 티타늄의 온도를 더 낮추면 수소가 더 효과적으로 펌핑됩니다.
- 티타늄 승화 조합 이온 펌프(TSP)
제품 정보
- 극저온패널 또는 차단 실드는 TSP의 승화 티타늄에 제공하는 표면적이 더 넓고 원치 않는 코팅으로부터 진공 시스템을 보호해 줌
- 극저온패널이 액체 질소 냉각 시 성능 극대화
- Water cooling, 액체 질소로 작동하는 TSP 극저온패널
- 차단 실드는 냉각이 필요하지 않음
- 더블엔드 또는 사이드 포트 이온 펌프에 장착 가능
- 외경 8인치인 ConFlat 플랜지에 장착하며, TSP 카트리지 장착을 위한 2.75인치 ConFlat 플랜지 포함
- 11인치 깊이/간격의 모든 8인치(NW 150) CFF 포트에 독립적으로 설치 가능
- TSP 카트리지는 미포함
- 주요 참고문헌
-
TSP Ambient Shield Data Sheet
Technical specifications and ordering information for TSP Ambient Shield.
- 데이터 시트
- English
- 19 May 2022
- 378.25 KB
- 브로셔
- 카탈로그
- 기술 개요
- 사용자 설명서
-
Cryopanel User Manual
Instructions for use and technical specifications for the Cryopanel
- 사용자 설명서
- English
- 30 Jun 2017
- 1.99 MB
- 적합성 인증서
비디오
Vacuum Technologies Webinar Library
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이온 펌프 유지보수 및 예비 부품
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