VacIon Plus 75 펌프
애질런트 VacIon Plus 75 펌프는 75L/s 이온 펌프로 학계 및 고에너지 물리학(HEP) 연구의 초고 및 고진공 응용 분야에서 사용됩니다. 다른 VacIon Plus 중이온 펌프와 동일한 콤팩트한 크기에도 펌핑 속도를 높이기 때문에 펌핑 속도를 높여야 하는 대형 챔버 응용 분야에 적합합니다.
특허받은 StarCell 요소는 비활성기체 및 수소에 대해 세계 최고 수준의 펌핑 속도를 제공하며, 메탄, 아르곤 및 헬륨에서 사용하는 경우 가장 높은 용량을 제공합니다. 광학 배플(baffles), 통합형 히터 및 고전압(HV) 피드스루와 같은 옵션을 사용해 시스템을 쉽게 통합할 수 있습니다.
특허받은 StarCell 요소는 비활성기체 및 수소에 대해 세계 최고 수준의 펌핑 속도를 제공하며, 메탄, 아르곤 및 헬륨에서 사용하는 경우 가장 높은 용량을 제공합니다. 광학 배플(baffles), 통합형 히터 및 고전압(HV) 피드스루와 같은 옵션을 사용해 시스템을 쉽게 통합할 수 있습니다.
제품 정보
특징
- StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소 중에서 선택해 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
- ConFlat 6²인치 고정형 플랜지, 추가 2.75²인치 ConFlat 포트와 함께 사용 가능 및 다양한 방향의 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, SHV 10kV (Safeconn)) 선택 가능
- 움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
- 낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
- 낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
- >400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
- 고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능
- 전자 간섭을 최소화하기 위한 초저 누설 전류 및 높은 안정성을 자랑하는 SEM 버전
- 특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차
사용 방법
