VacIon Plus 40 펌프
애질런트 VacIon Plus 40 펌프는 중형 40L/s 이온 펌프로 전자 장치 소개 및 전자 현미경(SEM) 스캐닝용으로 학계 및 고에너지 물리학(HEP) 연구에서 범용 UHV 및 XHV 시스템에 사용합니다.
이 펌프는 안정적인 진공과 낮은 누설 전류를 제공하기 때문에 SEM 응용 분야에서 중요한 구성품을 보호합니다. 특허받은 양극 설계와 StarCell 요소의 결합을 통해 강력한 솔루션을 제공해 E-beam 컬럼을 최적화합니다. 고전압(HV) 피드스루와 같은 사용자 선택 옵션을 사용해 시스템을 쉽게 통합할 수 있습니다.
이 펌프는 안정적인 진공과 낮은 누설 전류를 제공하기 때문에 SEM 응용 분야에서 중요한 구성품을 보호합니다. 특허받은 양극 설계와 StarCell 요소의 결합을 통해 강력한 솔루션을 제공해 E-beam 컬럼을 최적화합니다. 고전압(HV) 피드스루와 같은 사용자 선택 옵션을 사용해 시스템을 쉽게 통합할 수 있습니다.
제품 정보
특징
- StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소 중에서 선택해 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
- ConFlat 2.75²인치 고정형 플랜지, 추가 2.75²인치 ConFlat 포트와 함께 사용 가능 및 다양한 방향의 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, SHV 10kV (Safeconn)) 선택 가능
- 움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
- 낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
- 낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
- >400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
- 고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능
- 전자 간섭을 최소화하기 위한 초저 누설 전류 및 높은 안정성을 자랑하는 SEM 버전
- 특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차
사용 방법
