VacIon Plus 20 펌프
애질런트 VacIon Plus 20 펌프는 중형 20L/s 이온 펌프입니다. 학계 및 고에너지 물리학(HEP) 연구의 다양한 초고 및 고진공 응용 분야뿐만 아니라 의료영상 및 방사선 치료에 사용되는 장비에도 적합합니다.
이 펌프는 범용 다이오드 요소를 사용하거나 가스 혼합물 펌핑할 때는 StarCell 및 비활성 다이오드 요소를 사용할 수 있습니다. 특허받은 StarCell 요소는 다량의 비활성기체와 수소를 처리하고, 메탄, 아르곤, 헬륨에 사용하는 경우 최고의 속도와 용량을 제공합니다. 요소 유형, 일체형 히터, 고전압 피드스루와 같이 고객이 선택하는 옵션을 이용해 시스템을 쉽게 통합하고 일관된 무입자 UHV 펌핑 성능을 제공할 수 있습니다.
이 펌프는 범용 다이오드 요소를 사용하거나 가스 혼합물 펌핑할 때는 StarCell 및 비활성 다이오드 요소를 사용할 수 있습니다. 특허받은 StarCell 요소는 다량의 비활성기체와 수소를 처리하고, 메탄, 아르곤, 헬륨에 사용하는 경우 최고의 속도와 용량을 제공합니다. 요소 유형, 일체형 히터, 고전압 피드스루와 같이 고객이 선택하는 옵션을 이용해 시스템을 쉽게 통합하고 일관된 무입자 UHV 펌핑 성능을 제공할 수 있습니다.
제품 정보
특징
- StarCell, 다이오드 및 불활성 다이오드 요소 중에서 선택해 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 달성
- ConFlat 2.75²인치 회전형 플랜지와 함께 사용 가능 및 다양한 방향의 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, SHV 10kV(Safeconn)) 선택 가능
- 움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
- 낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
- 낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
- >400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
- 고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능
- 전자 간섭을 최소화하기 위한 초저 누설 전류 및 높은 안정성을 자랑하는 SEM 버전
- 특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차
사용 방법
