VacIon Plus 200 펌프
VacIon Plus 200L/s 펌프는 펌프 다운 속도를 단축합니다(피크 펌핑 속도: 10–8mbar). 자기장이 최적화되었기 때문으로 UHV 및 XHV 상태가 매우 중요한 경우에 적합합니다. 이 펌프는 vacuum firing 프로세스를 거쳤으며, 수소 탈기를 최소화합니다.
세 가지 유형의 요소로 사용할 수 있습니다. 다이오드 요소는 수소 펌핑 속도를 최대한으로 올리는 것이 매우 중요하고 시스템에 통풍구가 없거나 누출 가능성이 있는 범용 UHV 및 XHV 응용 분야용입니다. StarCell 요소는 비활성 다이오드와 비교해 더 많은 비활성기체를, 다이오드와 비교해 더 많은 수소를 처리하고, 메탄, 아르곤, 헬륨에 사용하는 경우 최고의 속도와 용량을 제공합니다. 비활성 다이오드 요소는 잔존 아르곤 및 기타 비활성기체의 펌핑이 필요한 범용 UHV 및 XHV에서 사용합니다.
세 가지 유형의 요소로 사용할 수 있습니다. 다이오드 요소는 수소 펌핑 속도를 최대한으로 올리는 것이 매우 중요하고 시스템에 통풍구가 없거나 누출 가능성이 있는 범용 UHV 및 XHV 응용 분야용입니다. StarCell 요소는 비활성 다이오드와 비교해 더 많은 비활성기체를, 다이오드와 비교해 더 많은 수소를 처리하고, 메탄, 아르곤, 헬륨에 사용하는 경우 최고의 속도와 용량을 제공합니다. 비활성 다이오드 요소는 잔존 아르곤 및 기타 비활성기체의 펌핑이 필요한 범용 UHV 및 XHV에서 사용합니다.
제품 정보
특징
- StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소로 이용 가능하며, 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
- ConFlat 8인치 고정형 플랜지, 추가 2.75인치 ConFlat 포트, 더블앤드 및 사이드 포트와 함께 사용 가능, 다양한 방향으로 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, Safeconn) 선택 가능
- 움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
- 낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
- 낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
- >400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
- 고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능
사용 방법
