VacIon Plus 150 펌프
높은 펌핑 속도를 제공하는 VacIon Plus 150L/s 펌프는 6인치 Conflat 플랜지를 사용해 장착하기 때문에 풋프린트가 크지 않으며, 일반적으로 초고 및 고진공 상태가 매우 중요한 실험실에서 사용됩니다. 세 가지 유형의 요소로 사용할 수 있습니다. 다이오드 요소는 수소 펌핑 속도를 최대한으로 올리는 것이 매우 중요하고 시스템에 통풍구가 없거나 대기 누출 가능성이 있는 범용 UHV 및 XHV 응용 분야용입니다. StarCell 요소는 다량의 비활성기체(비활성 다이오드보다 뛰어남) 및 수소를 처리하고, 메탄, 아르곤, 헬륨에 사용하는 경우 최고의 속도와 용량을 제공합니다. 비활성 다이오드 요소는 잔존 아르곤 및 기타 비활성기체 펌핑이 필요한 범용 응용 분야에서 사용됩니다.
제품 정보
특징
- StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소로 이용 가능하며, 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
- ConFlat 6² 고정형 플랜지, 추가 6² ConFlat 포트, 더블앤드 및 사이드 포트와 함께 사용 가능, 다양한 방향으로 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, Safeconn) 선택 가능
- 움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
- 낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
- 낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
- >400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
- 고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능
- 전자 간섭을 최소화하기 위한 초저 누설 전류 및 높은 안정성을 자랑하는 SEM 버전
- 크기가 매우 중요한 경우 이용할 수 있는 콤팩트한 디자인 바디 버전
사용 방법
