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이온 펌프용 매그넷

애질런트 이온 펌프 매그넷은 이온 펌프를 적절하게 작동시키는 데 필요한 고밀도 자기장 강도를 균일하게 제공합니다. 이온 펌프의 효율성은 전자 구름 밀도에 따라 달라지며, 전자 구름 밀도는 셀의 기하학적 구조, 전기 필드 및 자기장 강도와 직접적으로 관련이 있습니다. 일반적인 sputter 이온 펌프 설계에서는 1,200~1,400 가우스 사이의 자기장을 사용합니다.

이온 펌프 성능 최적화에 도움이 필요한 경우 이온 펌프 발명가인 애질런트(이전 Varian)에 문의하세요.

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