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Varian Reports: 확산 펌프 작동

애질런트(구 Varian)는 수년간 "Varian Reports"라는 이름으로 기술 문서를 발행했습니다. 이러한 기술 지침은 American Vacuum Society(AVS) 또는 Society of Vacuum Coaters(SVC)와 같은 발행물에 등장했습니다. 오늘날 확산 펌프를 작동할 때 동일한 개념의 많은 부분이 여전히 관련이 있습니다. 다음은 확산 펌프 및 확산 펌프 시스템의 기술적 작동에 대해 자세히 설명하는 세 가지 논문을 소개합니다.

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VR-187: 확산 펌프 시스템과 그 작동

펌프 크기를 적절하게 선택하기 위해서는 주어진 압력으로의 배출 시간, 프로세스 중 특정 압력 유지, 프로세스 주기 시간 및 최대 잠재 가스 유량 등 다양한 시스템 요건을 고려해야 합니다. 이 백서에서는 펌프 오버로드를 방지하기 위해 확산 펌프 시스템에 대해 고려해야 할 사항을 다룹니다.


VR-175: 고진공 펌프에서의 오버로드 조건

확산 펌프는 펌프가 작동할 수 없는 제한된 주입 압력을 가집니다. 다가오는 오버로드 조건을 인식하고 대처하는 것은 진공 시스템 작동의 중요한 부분입니다. 이 백서는 고진공 펌프가 시작되는 압력을 선택하기 위한 기본적인 고려 사항을 개략적으로 설명하며, 압력보다는 질량 흐름(처리량) 한계의 중요성을 강조합니다.


VR-96: 진공 시스템 문제해결

이 백서는 작업자가 진공 문제의 일상 분석을 지원하기 위해 작성되었습니다. 이 백서의 핵심은 기존의 조건과 비교할 목적으로 정상 작동의 질서 있는 기록과 두 번째로 성능 저하의 가능한 원인을 좁히기 위한 펌프 시스템의 다양한 섹션 분리입니다.





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